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獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和精準的控制系統，膠州磨加工，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
給驅動系統 一是依靠一定精度的機床來保證，內圓磨加工，即要求機床的精度高于工件所要求的精度，稱之為“蛻化”原則或“母性”原則。 二是在精度比工件要求低的機床上，加工出高精度的工件，利用在線檢測和誤差補償技術，可以實現這個目的。這就是所謂的“進化”原則或“創造性”原則。 超精密機床，都裝有雙頻激光隨機檢測系統和精密數控系統組成反饋閉環控制系統，以保證加工的尺寸精度。
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